真空泵真正工作时负压在0.01-0.099MPa之间，将两个
真空泵连起来并联能提供更高的抽真空能力，但是负压值还是无法再进行提高，串联效果好点，但是串联不如换一台正控系统好的正空泵，串联不论其中有哪一台真空系统不能保证，都无法达到理想真空度。极限值就是0.09999兆帕。
极限真空度由
真空泵的密封性有关，你用再多的相同的泵作用不会太大，要提高极限真空度，应该将真空泵型号更改，例如循环水的可以换成油泵。
旋片式真空泵一般标注的极限真空度为0.02帕，但用单泵的话在实际工作证很难达到，毕竟但泵的抽气量有限，特别是在高真空条件下，但泵的抽气量极小，因此很难达到极高的真空，工业上一般采用多级泵串联的方式得到较好的真空度，罗茨泵就是仅能在高真空条件下才能运行，并且具有在高真空条件下具有良好的抽气能力，两级罗茨泵再加一级
旋片真空泵作为前级泵即可满足要求，操作时要求先启动
旋片式真空泵，待真空度达到-0.08兆帕后再启动罗兹泵.
