旋片式真空泵与分子泵可以通过多种方式连接,具体取决于所需的真空级别和应用需求。
一种常用的连接方式是使用气动隔离阀将旋片式真空泵和分子泵分开。该阀门通常被安装在分子泵和真空室之间,以便隔离旋片式泵和分子泵的真空系统。这样可以防止旋片式泵油污染分子泵,同时还可以使分子泵更好地保持高真空。该连接方式通常适用于需要高真空和洁净度的应用。
另一种常用的连接方式是使用串联连接。这种方式下,旋片式真空泵将作为分子泵的前级泵使用,以帮助分子泵在低真空时实现更高的抽气速率。该连接方式通常适用于需要较高的真空级别和较大的抽气速率的应用。
还有其他一些连接方式,例如旋片式泵和分子泵共享同一真空室,或者将旋片式泵作为分子泵的备用泵。在选择连接方式时,需要根据具体应用要求和系统性能进行选择。