旋片真空泵用于在粗糙真空范围内将空气(或气体)从真空室或真空系统中排出。“粗真空”被称为系统,其jue对气压在760托(环境)和大约1托之间。在粗糙真空范围内,有许多高真空泵(例如涡轮分子真空泵)无法运行,并且会受到损坏。因此,旋片真空泵被多次称为粗加工泵。粗加工泵是用于将真空室或系统的jue对压力从大气压降低到0.001托或1微米的泵。此时,辅助真空泵(例如涡轮泵)将打开并接管抽真空,以使真空室或系统达到更高的真空度(例如10-5托)。
**个缺点是存在低蒸气压油。旋片真空泵在没有机油的情况下无法运行,这意味着必须经常观察,补充和更换机油。这也使真空泵有被高蒸气压气体污染的风险,这继而降低了真空泵的性能并损坏了其部件。
减轻污染物进入真空泵腔室的一种方法是在真空泵进气之前安装过滤器和疏水阀。这样可以zui大程度地减少真空泵油的污染。
此外,从其排气到周围环境中的旋片真空泵发出油和水雾。一段时间后,单个旋片真空泵会在密闭的房间内冒烟,危害健康。这使旋片真空泵失去了在洁净室,封闭环境或室内环境中使用的资格。
可以通过在真空泵排气装置上安装除油器或排气过滤器来zui大程度地减少油雾的排放。这个简单的步骤可以减少99.95%的排放。