气体进入吸气腔,并立即被转子的叶片压缩。当转子旋转时,它将气体分子推向泵室,并朝向排气,然后被排放到大气中。
叶片是弹簧加载的,这就是叶片在转子和泵室壳体之间形成气密密封的方式。相反,这些叶片和转子壳体由专门配制的低蒸气压的油密封,该油用作旋片真空泵的密封剂,润滑剂和冷却剂。
有几种驱动旋片真空泵转子的驱动器。**个是直接驱动器,直接驱动器通过曲轴和联轴器连接到旋转动力源(大多数情况下是电动机)。第二种驱动类型是皮带驱动泵,它通过皮带轮和皮带连接到旋转动力源。
直接驱动式旋片泵通常在大约1750 RPM的温度和70摄氏度的温度下运行。使用减速皮带轮(皮带驱动)的泵以较低的RPM运行。皮带驱动泵的工作温度比直接驱动真空泵低10至20摄氏度。但是,每种泵类型的工作温度在很大程度上取决于多个因素,例如转速,真空泵油的粘度,油的质量,真空泵的使用年限,被抽出的气体的质量。 ,以及真空泵的质量和类型。
旋片式真空泵通常有两种类型:单级或双级,有时也称为双级。通过将第二转子的进气口连接到**转子的排气口来产生第二阶段。两级旋转叶片泵的优点是可以通过这种方式获得较低的真空度和较高的体积流量。
与任何其他真空泵一样,体积流量随着真空系统或腔室内部真空度的增加而减小。这是由于这样的事实,真空室内存在的空气越少,从真空室或系统中去除其他气体分子的难度就越大。但是,随着jue对压力的降低,两级真空泵的泵性能变得更加明显。在粗真空范围内,抽速基本上相同,但是当jue对压力超过1托时,两级真空泵继续保持其抽速,而单级真空泵开始下降。
从该图可以明显看出为什么单级真空泵优于两级真空泵,反之亦然。在恶劣的真空环境中,单级真空泵和两级真空泵之间没有区别,这意味着单级真空泵将以降低约30%至50%的成本提供相同的性能。另一方面,单级旋片真空泵的性能在1 Torr之后开始下降,而二级旋片真空泵成为显而易见的选择。
下图显示了带有和不带有气镇阀的单级和两级旋转叶片泵的抽速。